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流量開關在還原爐冷卻水中的應用

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多晶硅還原爐冷(leng)卻水管(guan)路(lu)中的(de)的(de)流量(liang)開關應(ying)用



多(duo)晶(jing)硅還原爐冷卻對于現場安全(quan)至關(guan)重(zhong)要,如(ru)不能及時(shi)對冷卻水進行(xing)監控,將引(yin)起(qi)氫氣(qi)泄(xie)漏,引(yin)起(qi)爆(bao)炸。熱式流(liu)量開關根據其產品(pin)特點(dian)——無可動部件(jian),全(quan)不銹鋼材質,防護等級高可全(quan)面滿足化(hua)工行業尤(you)其是(shi)(shi)在冷卻(que)水(shui)或是(shi)(shi)潤滑油路上,是(shi)(shi)大多(duo)數化(hua)工企業常用的(de)開關類儀表(biao)!


多晶硅(gui)還原爐主(zhu)要由(you)底(di)盤、含夾套冷(leng)(leng)卻(que)(que)(que)水的鐘罩式雙層爐體(ti)、電(dian)極、視(shi)鏡孔(kong)、混(hun)(hun)和氣進氣管、混(hun)(hun)和氣尾氣出(chu)氣管、爐體(ti)冷(leng)(leng)卻(que)(que)(que)水進水管、爐體(ti)冷(leng)(leng)卻(que)(que)(que)水出(chu)水管、底(di)盤冷(leng)(leng)卻(que)(que)(que)水進水管、底(di)盤冷(leng)(leng)卻(que)(que)(que)水出(chu)水管、電(dian)極冷(leng)(leng)卻(que)(que)(que)水進水管、電(dian)極冷(leng)(leng)卻(que)(que)(que)水出(chu)水管及(ji)其(qi)他附屬(shu)部(bu)件組成,爐體(ti)主(zhu)體(ti)采用不銹(xiu)鋼材(cai)質(zhi)。


熱式流(liu)量開關在多晶硅(gui)還原爐(lu)水(shui)冷卻中的(de)應(ying)用


還原(yuan)爐里面是用純的氫氣以及三氯氫硅(gui),在1100°條件左右進行(xing)反應,生(sheng)成的硅沉積在硅棒(bang)表面,慢(man)慢(man)的生(sheng)長,一(yi)般(ban)都要72小(xiao)時以上時間不間斷的供(gong)料供(gong)電。爐(lu)壁式夾層,用(yong)循環水進行冷卻。


危險系數極高,主要體現在以下幾個方面:

1、冷(leng)卻水供(gong)應不上燒壞爐(lu)壁,濺落爐(lu)內造(zao)成爆(bao)炸;

2、電(dian)極和(he)視鏡是整個還原爐最脆弱的地(di)方,一(yi)定要(yao)保證冷卻(que)水;

3、氫氣可(ke)能泄露,引起爆炸;


比利科(ke)技優質產品-熱式流(liu)量開關


工作原(yuan)理(li):


基于熱式原理,在封閉的探頭(tou)內包含(han)兩個電阻(zu),其中一個被加(jia)熱(re)作為(wei)探測電阻(zu),另一個未被加(jia)熱(re)作為(wei)基準電阻(zu),當有(you)介(jie)質流(liu)動時,感(gan)(gan)熱(re)(re)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)所接(jie)收到(dao)的(de)熱(re)(re)量將隨(sui)介(jie)質的(de)流(liu)速(su)變(bian)化(hua)而(er)變(bian)化(hua),感(gan)(gan)熱(re)(re)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)將這溫差信號轉化(hua)成電信號,在流(liu)速(su)達到(dao)某設(she)定點時,熱(re)(re)式流(liu)量開關輸出開關量信號。



熱式流量開關原理圖


關特點:


無活動部件,免(mian)維護(hu)。

安(an)裝方便,一種(zhong)型號適用于多種(zhong)管徑(jing)要(yao)求。

開關量連續調節,極低的壓力(li)損失(shi)。

結構緊湊,LED顯示流動趨勢及開關狀態。



技術參數(shu)


插入式(shi)設定范圍

1---150cm/s(水)3---300cm/s(油),20---2000cm/s(空(kong)氣)

信號輸出

PNP、NPN、繼(ji)電器(qi)

供電

24V±20%DC

接通(tong)電源

最大(da)400mA(PNP或NPN型)最大(da)1A@36VAC/DC(繼電器型)

空載電(dian)流

最大80mA

設(she)定方式

電(dian)位器(qi)設定

耐壓范圍

100bar

介質溫度變化

≤4℃/s

響應時間

1…13s,典型值(zhi)2s

初始化時間(jian)

約8s

電氣保護

反相(xiang),短路(lu),過載保護

防(fang)護等級(ji)

IP67

介質(zhi)溫度

-20…90℃ 環境溫度:-20…80℃  儲存溫度:-20…80℃

材(cai)質

探頭:不銹(xiu)鋼(gang),   外(wai)殼:不銹(xiu)鋼(gang)/鑄鋁

測量精度(du)

±2%